康寧推出全新EXTREME ULE Glass材料，助力晶片製程邁向新高度

新聞視界時報 記者 李翌淳 整理報導

康寧公司（Corning）宣布為新一代晶片製程研發出專為光罩設計的「EXTREME ULE Glass」材料，旨在幫助晶圓製造商提升光罩技術，應對日益複雜的製造需求。

這款創新的玻璃材料特別強調能夠承受高強度的極紫外光（EUV）黃光製程，尤其適用於高數值孔徑（High NA）的EUV製程環境。

EXTREME ULE Glass材料具備卓越的熱膨脹特性，這不僅能確保光罩的高穩定性與一致性，也滿足了EUV製程對熱穩定和均質性的嚴苛要求。

其超凡的平整度與均質性，顯著降低了光罩的波度（waviness），為製造商提供了更為精確的控制，進一步減少不必要的變因，從而優化高階鍍膜的應用效果。

這項創新技術的推出，不僅標誌著康寧在半導體製程材料領域的突破，還將為光罩製造帶來更高效的解決方案。

憑藉EXTREME ULE Glass的優越特性，晶圓製造商有望在未來的晶片製造中實現更高的精度與穩定性，滿足不斷進化的技術需求。

康寧的這項技術革新，將為全球半導體產業帶來更強勁的支持，進一步推動晶片製程的發展與技術進步，讓我們期待這項新材料為產業帶來更多可能性！